無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

一、無塵室等級的分類

依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

二、無塵室等級的標準

無塵室等級標準的版本較多，CEIDI西遞小編整理兩個較常用的劃分標準，分別是國際標準IOS14644-1、中國標準GB/T16292-1996，

三、無塵室凈化工程的處理工藝

1.亂流式(TurbulentFlow)：

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵車間內(nèi)的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，無塵室擴充比較容易，在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達要求的潔凈度，需耗時相當長一段時間。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運動成均勻的直線形，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需求較高的環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。

其型式可分為二種：

1）.無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般下流側(cè)污染較嚴重。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變穩(wěn)定。

缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。

2）.無塵車間垂直層流式：房間天花板用ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可獲得較高的潔凈度，在生產(chǎn)中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝獠⒉粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3.復(fù)合式(MixedType)：

復(fù)合式是將亂流式及層流式予以復(fù)合并用，可提供局部超潔凈空氣。

無塵車間潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?span lang="EN-US">10級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點：彈性擴充容易、維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵車間潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線最適宜使用。藥品、食品及半導(dǎo)體均適用。

無塵車間并裝局部無塵室(CleanSpot)：將亂流無塵室內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，為生產(chǎn)用。